主要用途
IZO靶材/ 氧化铟掺杂氧化锌In2O3/ZnO透明导电膜制备材料
IZO(铟锌氧化物)靶材是一种透明导电氧化物材料,广泛应用于光电子领域,以下是其关键特性及应用的总结:
化学组成:IZO靶材通常由氧化铟(In₂O₃)和氧化锌(ZnO)按比例混合而成,常见配比为In₂O₃
物理性质:
颜色:纯IZO靶材呈浅黄色或墨绿色,薄膜可能因工艺条件呈现黄绿色或蓝紫色。
电学与光学性能:高电导率、高透光性,适用于透明导电膜需求。
化学 式: In2O3/ZnO- 90:10wt%, 颜 色: 浅黄色或墨绿色, 晶粒度: 6~10µm ,纯度: ≥99.99%
制备方法:采用熔融法或高温固相法合成,需严格控制原料纯度及热处理参数(如烧结温度)以优化晶体结构。
薄膜制备:通过磁控溅射工艺,溶胶-旋涂法形成薄膜,退火温度通常为300℃。
显示技术:用于液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)及柔性显示器的透明电极。
太阳能电池:作为透明导电层,提升光电转换效率。
薄膜晶体管(TFT):因其高电子迁移率(>10 cm²/V·s)和稳定性,成为下一代Oxide TFT的核心材料。