PVD真空镀膜过程环节中需要使用到的镀膜材料、设备、应用行业功能、及相关配套有哪些

2019-04-11 10:42
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靶材:溅射靶材、金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材、合金靶材、单晶靶材、氧化物靶材、硼化物靶材、碳化物靶材、贵金属靶材、稀有金属靶材(钛、铌、锆、镍、钽、钨、钼、铪、铬、银等),单一金属靶材、蒸发材料、特种靶材等各类靶材;

 镀膜材料:金属膜料、氧化物、氟化物、硫化物、钛酸物、混合物等各种膜材、镀膜蒸发料;PVD涂层、TiN涂层、TiC涂层、TiCN涂层、ZrN涂层、CrN涂层、MoS2涂层、TiAlN涂层、TiAlCN涂层、TiN-AlN涂层、CNx涂层、DLC涂层、ta-C涂层等多元复合涂层;
 

 功能薄膜:光学薄膜,背光/显示用膜,显示屏用膜,产业用薄膜,光伏薄膜;

 镀膜设备:真空镀膜机、真空蒸镀设备、光学镀膜机、溅射镀膜机、眼镜镀膜机、光纤镀膜、CVD设备、MOCVD设备、薄膜沉积设备、玻璃镀膜设备、磁控镀膜、蒸镀设备、离子束沉积设备、电子枪、离子源;蒸发沉积掩膜、晶振片、镀膜夹具、配件、仪器、镀膜测试与监控设备、膜厚监测仪、镀膜牢固度测试器等;

 镀膜材料生产加工设备:冷等静压机,热等静压机,磁控溅射热蒸发,铜带铜铟硫技术与设备,高温钎焊炉,烧结炉,中频感应炉,电子束区熔炉,电子束熔炼炉,大面靶材钎焊炉,高温真空热压炉,轧机等;

 薄膜成型机械、检测检验仪器、特殊装置、薄膜原料及化工产品;

 洁净工程:洁净、防护系统,屏蔽防护产品、屏蔽机房设备、屏蔽桌/台/柜,安全防护服、洁净室耗材、防静电产品等;


高纯金属:

高纯金属与材料、高纯氧化物、高纯氟化物、高纯化合物、高纯电子化学品、高纯试剂等;
高纯金属材料制备:提纯、熔炼、热处理、工业炉、制造工艺、生产技术、分析与检测等。

靶材:

溅射靶材、金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材、单晶靶材、氧化物靶材、硼化物靶材、碳化物靶材、贵金属靶材、稀有金属靶材(钛、铌、锆、镍、钽、钨、钼、铪、铬、银等),单一金属靶材、特种靶材及各类靶材;

靶材生产加工设备:试验测试设备、分析检测仪器、测量仪、工业炉、热处理、轧机、烧结炉、焊接、热等静压机、真空设备、表面处理技术设备、环保安全设备与废水处理设备等。


其他相关:

有色金属材料、贵金属材料、稀有金属材料、难熔金属材料、稀土材料、合金材料、蒸发材料、镀膜材料、涂层材料、真空镀膜、功能薄膜、半导体材料、光伏材料、电子陶瓷、激光窗口、紫外辐射、晶体材料、纳米材料、金属粉末等。