陶瓷混合物靶材
类别 | 品名 | 分子式 | 纯度 | 密度 | 形态 |
氧化物 | 氧化铝 | Al2O3 | 4N | 4 | 可根据用户需要订制 |
氧化铋 | Bi2O3 | 4N | 8.9 | ||
氧化铬 | Cr2O3 | 4N | 5.2 | ||
氧化铒 | Er2O3 | 4N | 8.64 | ||
二氧化铪 | HfO2 | 4N | 9.7 | ||
氧化镓铟锡 | IGZO | 4N | 6.5 | ||
氧化铟锡 | ITO | 4N | 7.14 | ||
氧化镁 | MgO | 4N | 3.58 | ||
氧化铌 | Nb2O5 | 4N | 4.47 | ||
氧化钕 | Nd2O3 | 4N | 7.2 | ||
氧化镍 | NiO | 4N | 7.45 | ||
氧化钪 | Sc2O3 | 4N | 3.86 | ||
一氧化硅 | SiO | 4N | 2.13 | ||
二氧化硅 | SiO2 | 4N | 2.2 | ||
氧化钐 | Sm2O3 | 4N | 7.4 | ||
五氧化二钽 | Ta2O5 | 4N | 8.7 | ||
二氧化钛 | TiO2 | 4N | 4.29 | ||
五氧化三钛 | Ti3O5 | 4N | 4.57 | ||
氧化钒 | V2O5 | 4N | 3.36 | ||
氧化钇 | Y2O3 | 4N | 4.8 | ||
氧化锌 | ZnO | 4N | 5.6 | ||
氧化锌铝 | AZO | 4N | 5.4 | ||
二氧化锆 | ZrO2 | 4N | 5.5 | ||
氟化物 | 氟化钡 | BaF2 | 4N | 4.8 | |
氧化钙 | CaF2 | 4N | 3.13 | ||
氟化铈 | CeF3 | 4N | 6.16 | ||
氟化钾 | KF | 4N | 2.48 | ||
氟化镧 | LaF3 | 4N | 6 | ||
氟化镁 | MgF2 | 4N | 4.2 | ||
氟化钠 | NaF | 4N | 2.79 | ||
其他化合物 | 钛酸钡 | BaTiO3 | 4N | 3.96 | |
钛酸锶 | SrTiO3 | 4N | 5.12 | ||
硫化锌 | ZnS | 4N | 4.1 | ||
氮化硅 | Si3N4 | 4N | 3.44 | ||
氮化钛 | TiN | 4N | 5.43 | ||
氮化铝 | AlN | 4N | 3.26 | ||
氮化硼 | BN | 4N | 2.25 | ||
碳化硅 | SiC | 4N | 3.22 |